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结构原理

手套箱结构原理

主要由主箱体、过渡室两部分组成。如用户有其它特殊要求，也可以根据需要进行设计制造。

主箱体上有两个（或两个以上）手套操作接口，分布在箱体的前边（或前后两边），这使得本操作箱能被一个（或几个）人同时操作，提高了箱体的使用效率。另外，在箱体的前面（或前后）都有观察窗，操作者能够清楚地观察到箱体内的操作过程，使得操作过程直观地展现在操作者的眼前。过渡室的阀门上有抽气与充气接嘴，在需要抽气或充气时可由此接入。主箱体上也安装有阀门和接嘴，用户在需要维持气压平衡而对主箱体放气或充气时可以使用（手套口之间的三通阀必要时也可以用来放气）。过渡室门与手套口门上的“O”型圈要定期更换（根据用户的使用频率而定）。主箱体的前观察窗上方安装了照明日光灯。

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手套箱故障分析

一、风机跳闸

1. 检查设备是否有溶剂过滤系统，观察与溶剂过滤系统有关的蝶阀开启是否正确；

2. 是否风机未开启而设备已经开始工作了？这说明净化柱上的挡板阀的反馈位置不对；

3. 也可能造成断路器跳闸或变频器自保的原因就是负载过大。

二、风机出现杂音轴承缺油，需专业人士拆开风机，加油保养。

三、手套箱不断漏气

1. 设备本身密封出现问题，保压检漏；

2. 过渡舱舱门未关严；

3. 脚踏是否被东西压住；

4. 净化系统管路电磁阀被杂质卡住。

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手套箱常见故障及解决办法

1、清洗时箱压持续增加

原因：清洗阀门没有打开、进气压力太大、管路不畅通造成。

办法：①保证管路畅通，不要折弯；②清洗时，箱内相对压力持续低于0.5毫巴。

2、净化柱主阀故障

原因：①工作气压力不足0.5Mpa；②主阀信号反馈故障。

办法：①更换工作气瓶，或检查减压阀副表压力在0.5Mpa；②检查主阀信号开关。

3、循环不能开启

原因：风机变频器低压或高压保护。

办法：待电压稳定后，关机隔1分钟后重启。

真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；手套箱体的出气阀门通过引风机与所述气体吸附净化装置的进气口通过软管连接。在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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